德国易福门IFM真空传感器是工业实践中常用的一种压力传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、HANG KONG航天、JUN GONG、石化、油井、电力、船舶、机床、通风管道等众多行业。

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德国易福门IFM真空传感器的工作原理：
真空传感器的工作原理是介质的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。

德国易福门IFM真空传感器的相关参数：
综合精度： 0.25%FS、0.5%FS输出信号： 4～20mA(二线制)、0～5V、1～5V、0～10V(三线制)
零点温漂移： ≤±0.05%FS℃
量程温度漂移： ≤±0.05%FS℃
补偿温度： 0~70℃
安全过载： 150%FS
极限过载： 200%FS
响应时间： 5 mS(上升到90%FS)
负载电阻： 电流输出型：大800Ω；电压输出型：大于5KΩ
绝缘电阻： 大于2000MΩ (100VDC)
密封等级： IP65
长期稳定性能： 0.1%FS/年
振动影响： 在机械振动频率20Hz～1000Hz内，输出变化小于0.1%FS
电气接口(信号接口)： 紧线螺母+四芯屏蔽线
机械连接(螺纹接口)： 1/2-20UNF、M14×1.5、M20×1.5、M22×1.5等，其它螺纹可依据客户要求设计

德国易福门IFM场发射真空传感器：
场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析， 确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下， 可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流。
利用硅尖阵列场发射电流大小随真空度变化而变化的现象， 研制了一种基于硅尖阵列场发射原理的场发射真空传感器。利用MEMS加工工艺制作出传感器样机， 并搭建测试系统测试其特性。通过实验发现， 随着真空度的提高， 传感器输出电流也会随之增大， 而且真空度越高输出电流越大， 分辨率、灵敏度越高。 
德国易福门IFM压阻式真空传感器：
原理
压阻式真空传感器的测量部件是一个装有固态压力芯片，该芯片利用半导体材料的压阻效应，在特定晶面上，采用集成电路工艺技术扩散成四个等值电阻，组成一个惠斯登电桥，使得形变与桥阻变化形成一一对应关系，当压力变化时，电桥失去平衡，输出一个与压力成正比的电信号，再由感应智能芯片进行非线性修正和温度补偿，终输出与压力成线性对应关系的标准信号。
理论函数
压阻式真空传感器是压力变送器的一种，是将需要测量的真空变量转换为可输出的标准信号，输出信号与真空变量之间有一定的函数关系，主要用于测量过程中真空参数的测量与控制 [2]  。典型的二线制压阻式真空传感器的测量范围0 ～ 100 kPa、工作电压为12 ～ 36 V，工作电流为4 ～ 20 mA 的标准信号输出，采用V /I 转换电路且零位可自由迁移。压阻式真空传感器输出信号和真空度的函数关系式如公式( 1) ：
I = 4 + ( 20 - 4) P' ( 1)
式中： P'为某一真空状态下的示值，kPa； P 为传感器的满量程值，kPa； I 为P'真空状态下对应的输出电流值，mA。
通过公式( 1) 可以得出某一真空传感器在测量范围内任意真空度对应的理论电流输出值，为其准确信号输出提供参考。
在对真空传感器校准时，由于测量误差是按照测量准确度等级划分的，典型的压阻式真空传感器
测量误差和准确度间的函数关系如公式( 2) ：
△A = ( 20 － 4) δP ( 2)
式中： △A 为测量误差的上下限值； P 为此传感器的满量程值，kPa； δ 为某一真空传感器标注的准确度等级。
准确度等级是传感器的主要技术指标，是一个定性的概念，通过公式( 2) 可以换算出真空传感器在某一准确度等级下的测量允许误差限，可以判断真空传感器标注的准确度等级是否正确，如表1 所列。