德国Busch普旭COBRA无油螺杆真空泵提供全系列太阳能技术应用所需的干式真空泵，是覆盖所有光伏电池生产工序的理想真空发生器。晶圆涂层也可通过使用螺杆真空泵来实现。Busch的COBRA无油螺杆真空泵是此类工艺的*选择，Busch拥有相当丰富的半导体行业应用经验，并已经在范围内成功应用多年。 普旭COBRA螺杆真空泵可用于单晶、多晶和非晶硅的生产。根据拉晶机的尺寸和原理不同，可以采用COBRA螺杆真空泵与罗茨真空泵的组合真空系统，从而大大增加极限压力范围内的抽速。COBRA真空泵有不同的设计尺寸，可以达到0.01至0.3mbar的极限压力，提供7种标准抽速（70到630立方米/每小时）。当其和罗茨泵组合在一起时，每小时的抽速可达到4000立方米甚至更多。  普旭COBRA无油螺杆真空泵实物展示
普旭COBRA螺杆真空泵的另外一项应用是光电池的压合。真空泵在层压机内抽真空，形成压差，使得EVA薄膜之间的单个电池组件压紧在电池的玻璃板上，并/或粘附在合适的位置。COBRA*的真空度对光伏电池的质量有直接的影响，一方面，它防止了薄膜与薄膜或者是薄膜与玻璃板之间的气泡产生，另一方面，它确保了所有电池组件之间的安全、牢固粘合，有效阻止空气及湿气渗入光电池，进而提高电池的使用寿命。 普旭COBRA螺杆真空泵凭借其安全可靠、经济的运行模式脱颖而出。通过无油和无接触运转可提高真空泵的工作效率。与油润滑真空泵相比较，COBRA的能量消耗大大降低。以每小时400立方米的进气量为例，螺杆真空泵的电耗可以降低百分之三十之多。对于某些需要三班连续运转的工况来说，这就意味着节约了相当大的能耗。 普旭COBRA螺杆真空泵的低维护运行，使其在降低运行成本方面表现地更为突出。同时，真正的无接触运转，也实现了对易损件的零需求。除此之外，螺杆真空泵也免除了大量的日常维护工作，如油润滑旋片真空泵所需的换油和油过滤器等。 Busch除了为太阳能电池生产的各阶段提供独立运作的真空泵之外，还可提供可供整个工厂所需的中央真空系统，这就意味着无需在生产车间现场安装真空泵。 |
