美国MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作为半导体零部件的供应商，在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处，美*机仪器MKS INSTRUMENTS产品起源于压力测量和控制核心技术，延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术，其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。上海MKS经销专业供应美国MKS流量计 美国MKS薄膜真空计 美国MKS传感器 美国MKS流量控制阀 美国MKS压力开关代表型号：AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645,LIQUOZON,NOVA-25,NOVA-50,SPECTRUM B5002, SPECTRUM B11002,ACG-3B,ACG-6B,ACG-10B,GHW-12,GHW-25,GHW-50,SPECTRUM 3013,SUREPOWER QL3513.....

阀门

MKS是一家的高可靠性，高精度不锈钢真空隔离阀和压力控制阀。MKS系列真空隔离阀，波纹管和球阀，手动，气动和电动气动执行机构阀门在加热或不加热的角度和内嵌的配置，安全切断阀和软启动阀。我们的压力控制阀生产线包括摆，蝴蝶，叶片和阀芯节流阀集成控制子系统。

压力/真空测量的Baratron®直接压力/真空电容压力计 HPS®真空传感器，仪表，传感器和控制器

MKS是压力和真空测量领域的。在的MKS家庭的压力和真空测量仪器的Baratron®电容压力表，压力传感器，压力开关，压力控制子系统，真空压力表，真空压力传感器，真空压力表控制器。

残余气体分析/质谱法RGA原位过程监测，泄漏检测与分析

RGA在原位过程监测

MKS 质谱气体分析仪产品创新的原位过程监测仪器*集成的，应用程序特定的软件包，包括成分的残留气体分析仪（个RGAs），网络功能的RGA的分析设备和工艺的RGAs和控制软件。

• 真空监测和电子诊断
• 超高真空（UHV）
• CVD过程
• 真空基线RGA
• 离子注入
• 光致抗蚀剂检测
• 高压RGA
• PVD
• 蚀刻
• 扩散
• 转移室监控
• 泄漏检测
• 大气压力气体分析

FTIR，NDIR红外气体分析仪器

FTIR（傅立叶变换红外）和NDIR（非色散红外）实时的时间和在线气体分析仪器从MKS仪器能够为多个气体种类，包括NF ₃，NH ₃，H ₂，NO和N ₂个ppb到ppm灵敏度O和高达30％的水与气体。

GLM™-2000 少数载流子寿命监视器真稳态少数载流子的寿命（Gtau），光导率的上升和衰减及薄膜电阻
 

放大

GLM™-2000少数载流子寿命监控器是一种精密仪器，采用了的变压器耦合光电导方法，同时测量真稳态少数载流子的寿命（Gtau测量），光导率的上升和下降及薄膜电阻。这需要现有的业界*的计量方法，并结合高速电子固态照明技术，噪声抑制，以及强大的的食谱驱动软件是一个工具，操作方便，简单易懂，和可重复的结果导致。

用于晶体硅光伏电池的硅的质量有直接的影响的质量，或转换效率，（太阳能电池）的zui终产品。我们的目标是尽可能多的入射能量，或载体转移，电路的输出或细胞。做到这一点，在一部分中，通过zui小化任何重组的载体。电信运营商重组，当他们接触过的缺陷或杂质的硅。重组时间从细胞的电势输出电流。

少数载流子寿命测量，是一种定量评估的基础硅的质量，因为较低的少数载流子寿命是在硅中的杂质和缺陷的迹象。此外，测量薄层电阻和光电导衰减（PCD）进一步提供对表面复合的影响的信息，并作为切割检查通过ARC沉积的光伏电池的制造过程中的质量从。

控制系统，工业自动化控制器，嵌入式Analytics（分析），I / O，网关，紧凑型PCI网络监视器，工业以太网，以太网/ IP和DeviceNet，Profibus，Modbus总线，EtherCAT中，CAN，Linux的，HSMS，SECS，接口

新的特色产品：ECM2控制平台。

先锋产业平台，控制，通信协议和网关技术，MKS的关键组成部分和经验，为分布式控制和过程监控为我们的客户提供的技术，个性化他们的具体要求。此外，商业“现成的”产品使我们的客户能够快速部署的解决方案，通过易于使用的平台。

MKS Instruments公司的控制和自动化产品团队可以帮助您定义，设计和制造下一代控制器。我们专注于提供的高密度混合I / O以zui快的现场总线网络技术相结合，为您带来一个控制器，这将节省您的成本比当前解决方案，将大大减少你的时间，市场。

现场总线

以太网现场总线控制器连接到您的网络正在改变。EtherCAT技术的DeviceNet™，以太网/ IP™，PROFIBUS，MODBUS-TCP，可以打开网络所支持的MKS Instruments公司的成套控制产品。

混合高密度I / O

MKS Instruments公司的控制产品包含混合I / O，让您以在市场上每点的高密度。高分辨率和高度的模拟和数字I / O，加干触点继电器和温度的I / O控制器建立一个灵活的环境，你所需要的具体规格。

嵌入式逻辑

MKS Instruments公司的产品支持PLC IEC61131-3标准，以及MKS'的自己cLogic®嵌入式应用程序。这些平台让你写你的梯形图，功能块图，结构化文本和ANSI C控制算法，同时给你zui大的灵活性和功能。我们的应用工程师写的一些常见用途的范例程式码（PID，PWM，计数器等），所以你不必。

RTOS和Linux操作系统

MKS Instruments公司的控制和自动化产品套件可与实时操作系统（RTOS）和Linux操作系统平台。